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光伏廢水主要來源于多晶硅廢水、有機硅廢水、硅片清洗廢水、切磨拋廢水和砂漿回收廢水，其化學成分主要包括聚乙二醇、COD、硅酸鹽和氨氮等。目前光伏廢水的處理方法主要包括膜過濾技術、生物處理、蒸發脫鹽技術和化學處理等。化學處理是指通過添加化學藥劑來處理太陽能光伏廢水中的有害物質，如氧化劑、沉淀劑等。這些藥劑可以將太陽能光伏廢水中的懸浮物和有機物進行氧化、沉淀，有效地改善水質，使其符合標準。雙氧水作為一種常見的氧化劑，在芬頓反應、臭氧光催化氧和光芬頓等高級氧化技術中被應用廣泛。其中，臭氧光催化高級氧化反應主要利用UV光催化系統，激發 H2O2 及 O3 產生具有氧化性的羥基自由基，加速難降解有機物質氧化，發生一系列斷鏈、開環等多種反應，進一步提高COD的去除效率。光芬頓反應則是在傳統芬頓反應的基礎上引入UV，形成光助芬頓反應，加速芬頓反應中Fe3+和Fe2+的價態循環，同時達到紫外光和Fe2+協同催化分解H2O2的目的，進而加速光伏廢水中COD的去除。
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| 預處理 | 去除單一目標分子（脫氯） | 去除毒性 提高可生化性 降解目標污染物 | 醫藥農藥行業去除毒性； 降解有機磷、有機氮 提高B/C | 提升B/C |
| 深度處理 | TOC降解 | 石化行業，回用水處理 | 工業園區深度處理去除COD | 提標改造出水保障 深度處理去除COD |
| 無排放 | 預防RO膜污堵 | 降解TOC/COD | 雙膜工藝前端深度去除COD | 原水或濃鹽水TOC/COD去除 |
| 凈水及超純水 | 電子行業超純水TOC降解 | 飲用水，去除微污染物 | / | 去除微污染物，降低消毒副產物 |
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